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氫氣發(fā)生器的工作原理基于鈀擴(kuò)散法純化氫的原理。鈀原子的密集堆積形成了一個(gè)微小的結(jié)構(gòu)，只有能夠離解的氫原子才能通過(guò)鈀管表面。其他元素的原子和分子由于直徑大于鈀原子密集堆積的間隙，無(wú)法通過(guò)。

HYDROGEN-30L/50L氫氣發(fā)生器采用固態(tài)電解質(zhì)（PEM）法產(chǎn)生氫氣。它使用超純凈水作為原料，以固體聚合物為電解質(zhì)，貴金屬做電極，并配備有效的除濕裝置。這樣可以降低原始濕度，使氫氣的純度保持穩(wěn)定。

氣相色譜專用氫氣發(fā)生器無(wú)需運(yùn)輸鋼瓶或搬運(yùn)鋼瓶的麻煩，使用時(shí)只需打開電源開關(guān)即可產(chǎn)氫。可連續(xù)使用，也可間斷使用，產(chǎn)氫量穩(wěn)定不衰減。無(wú)需使用干燥劑（如變色硅膠、分子篩等），免維護(hù)。

半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器(CVD,MOCVD專用)不僅能夠提供高純度、穩(wěn)定壓力的氫氣，還具有多項(xiàng)結(jié)構(gòu)優(yōu)勢(shì)和應(yīng)用功能，是半導(dǎo)體制造過(guò)程中重要的設(shè)備。